一、基本情況
比利時(shí)微電子研究中心(IMEC)成立于1984年,目前是歐洲領(lǐng)先的獨(dú)立研究中心,研究方向主要集中在微電子,納米技術(shù),輔助設(shè)計(jì)方法,以及信息通訊系統(tǒng)技術(shù)(ICT),在全球半導(dǎo)體業(yè)界備受推崇,曾與IBM和Intel并稱微電子 領(lǐng)域的“3I”。2019年,IMEC擁有來自超過70個(gè)國家共約4,500名員工,其中超過800人為業(yè)界進(jìn)駐工程師及頂尖學(xué)校的訪問學(xué)者,營業(yè)收入為6.4億歐元。
IMEC 致力于集成信息通訊系統(tǒng)設(shè)計(jì);硅加工工藝;硅制程技術(shù)和元件整合;納米技術(shù),微系統(tǒng),元件及封裝;太陽能電池;以及微電子領(lǐng)域的高級培訓(xùn)。
在半導(dǎo)體制造工藝方面,IMEC擁有一條8寸研發(fā)線和一條12 寸(部分兼容18寸)研發(fā)線,潔凈室總面積達(dá)到1萬平方米。在12寸線基礎(chǔ)上的工藝研發(fā)主要針對22納米及以下的數(shù)字CMOS工藝模塊開發(fā),這些模塊包括EUV光刻和先進(jìn)掩模技術(shù)、High-K和金屬柵極、互連與3D封裝、新式器件結(jié)構(gòu)等模塊。目前已有十多家世界頂級公司,如英特爾、三星、臺積電等,作為核心伙伴加入全部模塊的合作研究;而大部分著名的設(shè)備公司、如ASML、應(yīng)用材料等、則作為戰(zhàn)略伙伴加入此項(xiàng)目。除此之外,IMEC還在先進(jìn)存儲器、混合信號、后CMOS納米電子(納米材料、納米生物電子等)、MEMS、智能傳感器、生物芯片、有機(jī)電子、GaN-on-Si、LED、先進(jìn)功率器件、先進(jìn)太陽能器件、先進(jìn)封裝技術(shù),無線通信等領(lǐng)域開展研發(fā)工作。
二、組織結(jié)構(gòu)
位于比利時(shí)魯汶的IMEC總部包括24,400平方米的辦公空間、實(shí)驗(yàn)室、培訓(xùn)設(shè)施和技術(shù)支援室??偛亢诵氖莾蓚€(gè)最先進(jìn)的潔凈室,運(yùn)行半工業(yè)操作(24/7)。有一個(gè)專注于研發(fā)10奈米工藝技術(shù)的300毫米無塵室(450毫米無塵室也已準(zhǔn)備好)和一個(gè)用來進(jìn)行研究發(fā)展、需求導(dǎo)向發(fā)展、原型和小批量制造超過摩爾定律的技術(shù)(傳感器、致動(dòng)器和MEMS,NEMS等)之200毫米無塵室。Imec也有硅和有機(jī)太陽能電池的生產(chǎn)線、生物電子學(xué)研究專用實(shí)驗(yàn)室,以及材料表征和可靠性測試的設(shè)備。對于直觀物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的研究,IMEC擁有傳感器、成像技術(shù)、無線連接的專用實(shí)驗(yàn)室。
IMEC從1999年開始全球化戰(zhàn)略,在美國、日本、中國設(shè)有辦事處,在荷蘭恩荷芬、中國臺灣和上海、印度班加羅設(shè)有分中心。為了協(xié)調(diào)各方資源,IMEC 成立了IMEC國際(IMEC-International)作為所有分中心的上層框架機(jī)構(gòu),IMEC各個(gè)地區(qū)分中心(包括比利時(shí))在IMEC國際的框架內(nèi)共享知識產(chǎn)權(quán)和各種資源,如市場、宣傳、人事、IT、培訓(xùn)、法務(wù)等。同時(shí)各分中心既有不同的分工和方向,又有密切的合作與互補(bǔ)。
IMEC為非營利性組織,沒有股東,其最高決策層是理事會,為保證中立性,同時(shí)協(xié)調(diào)政府、大學(xué)和企業(yè)的關(guān)系,理事會成員由來自產(chǎn)業(yè)界、當(dāng)?shù)卣彤?dāng)?shù)馗咝5拇斫M成,人數(shù)各占1/3。IMEC邀請國際知名學(xué)者和企業(yè)高管組成科學(xué)顧問委員,提供科技咨詢建議。
IMEC理事會下設(shè)執(zhí)行委員會負(fù)責(zé)具體管理工作,執(zhí)行委員會共有8名委員,均有理事會任命,相對穩(wěn)定,30年來只經(jīng)任了3位總裁。IMEC具體業(yè)務(wù)部門隨研究方向調(diào)整而頻繁變動(dòng),由IMEC國際負(fù)責(zé)監(jiān)管全球各中心,在同一框架內(nèi)協(xié)調(diào)各分中心共享科技資源和技術(shù)成果。
三、運(yùn)營模式
IMEC將其使命定位為:“在微電子技術(shù)、納米技術(shù)以及信息系統(tǒng)設(shè)計(jì)的前沿領(lǐng)域?qū)ξ磥懋a(chǎn)業(yè)需求進(jìn)行超前研發(fā)?!盜MEC聚焦全球微電子及相關(guān)領(lǐng)域的關(guān)鍵共性技術(shù)研發(fā),形成以關(guān)鍵前沿技術(shù)項(xiàng)目集(program)而不是以單元產(chǎn)品開發(fā)為導(dǎo)向的項(xiàng)目(project)的驅(qū)動(dòng)戰(zhàn)略。這些項(xiàng)目集可以成為產(chǎn)業(yè)技術(shù)研發(fā)突破核心平臺的強(qiáng)大載體。
產(chǎn)業(yè)聯(lián)合項(xiàng)目計(jì)劃(IIAP)是IMEC 1991年創(chuàng)立的與產(chǎn)業(yè)界開展聯(lián)合研究的合作模式,在共享研發(fā)費(fèi)用、科研人員、知識產(chǎn)權(quán)以及共擔(dān)風(fēng)險(xiǎn)的基礎(chǔ)上,聯(lián)合幾家或幾十家全球有實(shí)力的企業(yè),開展領(lǐng)先市場需求3~8年的項(xiàng)目研究,攻克某項(xiàng)技術(shù)在產(chǎn)業(yè)應(yīng)用之前的技術(shù)瓶頸。值得注意的是,聯(lián)合計(jì)劃的具體項(xiàng)目并不是由大企業(yè)主導(dǎo)從自己的需求方向提出的,而是IMEC站在專業(yè)角度,對行業(yè)關(guān)鍵共性技術(shù)突破的迫切需要進(jìn)行判斷后選定的。項(xiàng)目確定后,有意向的企業(yè)通過自身評估和外部環(huán)境考察,決定是否參與。
由于項(xiàng)目參與方可能存在競爭關(guān)系,IMEC 與各公司簽署協(xié)議時(shí),充分考慮了未來知識產(chǎn)權(quán)的歸屬問題。產(chǎn)業(yè)聯(lián)合項(xiàng)目將知識產(chǎn)權(quán)分為 R0、R1、R2 三類,實(shí)施相應(yīng)的規(guī)則:
(1)R0—IMEC 獨(dú)有的知識產(chǎn)權(quán)
(2)R1—IMEC 與合作伙伴共同所有的知識產(chǎn)權(quán)
(3)R2—合作伙伴獨(dú)有的知識產(chǎn)權(quán)
這種精細(xì)化的知識產(chǎn)權(quán)歸屬機(jī)制既滿足了創(chuàng)新聯(lián)合體內(nèi)各方利益訴求,讓各主體可以在公平、共享的原則下實(shí)現(xiàn)各自所需的利益,也防止了搭便車的行為,保障了參與方的基本權(quán)益。
除產(chǎn)業(yè)聯(lián)合項(xiàng)目計(jì)劃外,IMEC還通過與高校開展基礎(chǔ)研究合作、受邀與企業(yè)開展雙邊合作研究、申請參與歐洲政府項(xiàng)目的形式開展研究工作。
IMEC以魯汶大學(xué)微電子系為基礎(chǔ)而建立,同時(shí)聯(lián)合了當(dāng)?shù)仄渌麕姿髮W(xué)的微電子研究力量。地方政府每年給予IMEC經(jīng)費(fèi)撥款支助,并且要求至少10%的撥款經(jīng)費(fèi)用于與科研機(jī)構(gòu)和大學(xué)等合作開展基礎(chǔ)研究,以獲取產(chǎn)業(yè)界不愿過多介入的戰(zhàn)略先導(dǎo)性、前瞻性技術(shù),從而不斷地為IMEC積累豐富的背景知識。這些基礎(chǔ)研究成果也成為IMEC吸引產(chǎn)業(yè)合作的“資本”。
IMEC 經(jīng)費(fèi)收入從初期的1000萬-2000 萬歐元,逐年增多,2000 年正式突破1億歐元,其經(jīng)費(fèi)構(gòu)成主要包括三類:
1、地方政府經(jīng)費(fèi)支持。從1984年至今,弗蘭芒區(qū)政府每年都給予IMEC資金資助,并且穩(wěn)步增長。從起初的每年資助金額1000多萬歐元,到2017年增長到了1.08億歐元;
2、合作伙伴項(xiàng)目資助。在IIAP項(xiàng)目中,參與的合作伙伴企業(yè)需要支付一次性項(xiàng)目加入費(fèi)和年度費(fèi)用,其用途包括對基礎(chǔ)知識產(chǎn)權(quán)的補(bǔ)償、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、研究人員費(fèi)用和研究設(shè)備費(fèi)用等。IMEC合作伙伴分為核心成員和項(xiàng)目成員,相應(yīng)支付的項(xiàng)目費(fèi)用也不同。核心成員由于支付的項(xiàng)目費(fèi)較高,參與的深度和廣度更大,享受的權(quán)益也更多;
3、技術(shù)成果轉(zhuǎn)移和轉(zhuǎn)化。當(dāng)獲得的技術(shù)或知識產(chǎn)權(quán)與新的產(chǎn)業(yè)聯(lián)合項(xiàng)目無關(guān)或者該技術(shù)已經(jīng)能夠成熟的運(yùn)用于市場時(shí),IMEC會以一次性技術(shù)買斷的方式,將成果轉(zhuǎn)移到受讓公司。對于沒有外部公司引入且具有價(jià)值的技術(shù),IMEC在充分可行性論證的基礎(chǔ)上以成立孵化公司的形式來將成果進(jìn)行轉(zhuǎn)化,獲取孵化公司5-15%的股權(quán),并給予新公司人才、技術(shù)和種子資金的支持。
四、IMEC在中國
IMEC在中國內(nèi)地的合作始于2000年,2010年IMEC中國分中心成立,始終積極與國內(nèi)產(chǎn)業(yè)界和科研界溝通,在多個(gè)領(lǐng)域?qū)で蠊餐邪l(fā)或共同商業(yè)化一些先進(jìn)的技術(shù)。
2011年,華為作為中國企業(yè)重要合作伙伴加入到IMEC的無線通訊合作項(xiàng)目中,這是中國企業(yè)第一次成為 IMEC 的伙伴公司;中興通訊也與IMEC簽署了一份評估協(xié)議,以對IMEC的相關(guān)技術(shù)能力進(jìn)行評估。同年,IMEC還與中科院上海微系統(tǒng)所簽署了在物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)方面的合作協(xié)議,將在上海搭建聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室,雙方計(jì)劃投入上千萬資金,共同開發(fā)物聯(lián)網(wǎng)相關(guān)技術(shù)并在國內(nèi)推廣應(yīng)用。
在人才培訓(xùn)方面,除了每年招收來自中國的博士生外,IMEC還與中國國家外專局、東南大學(xué)、大連理工大學(xué)、半導(dǎo)體設(shè)備公司七星華創(chuàng)等合作開展專項(xiàng)培訓(xùn),幫助相關(guān)領(lǐng)域培養(yǎng)青年骨干教師、企業(yè)技術(shù)人才。
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